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  • 公布日期:2022年07月06日

    第4講 關于電子光束及離子

    半導體生產設備中有使用電子光束及離子的裝置。

    使用電子光束及離子的裝置

    裝置代表例
    ?電子光束描畫裝置
    ?電子光束曝光裝置
    ?掃描電子顯微鏡
    ?離子注入裝置
    具體列舉以上裝置示例。

    此類裝置大多使用磁性較低的部件,以免對電子光束和離子產生影響。
    此外,為了避免與空氣中的分子碰撞,在真空環境下使用電子光束,因此大部分裝置均配備了真空室。

    請由此參看真空環境內容。

    NBK提供無磁性產品。

    請由此查看全部產品系列
     
    材質 C5191(磷青銅) 64鈦合金 純鈦合金 鈦合金 SUS316L
    產品名稱 內六角螺栓
    (鉭)
    磷青銅內六角圓柱頭螺栓 高強度鈦合金內六角圓柱頭螺栓 純鈦內六角圓柱頭螺栓 高強度鈦合金十字槽埋頭小螺釘 內六角極短頭螺栓(不銹鋼制)
    代表型號 SNSTA SNSP SNSTG SNST SNFTG SSHL
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    也有避免磁化部分的工具。
     
    材質 64鈦合金 CFRTP(碳纖維增強熱可塑性樹脂)
    產品名稱 鈦合金六角扳手 CFRTP活動扳手
    代表型號 SKHTG SKMWCP-200
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